常见的精密平尺有三种材质，铸铁平尺、大理石平尺、镁铝平尺。虽然都是用于测量平直度和平面度的，但这三种材质又各有各的优点。
  铸铁平尺采用HT200材质铸造，最高精度为1级，但是大规格的达不到1级精度，只能是2级或3级。比起大理石平尺，与镁铝平尺，他的耐磨性要稍好一些，而且稍微的碰撞并不会影响它的正常使用。
  大理石平尺采用天然石材制造，精度分为0级、00级、000级，最高精度可达到000级，是所有平尺里面精度最高的。
  镁铝平尺采用航空铝制成，精度比铸铁的高，比大理石的低。与其它两种材质相比，更轻便，一把3米的平尺重量只有9公斤而已。